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硅灰是用電弧爐生產硅鐵合金或工業硅的副產品或共生產品。硅石與碳在1750oC高溫下發生還原反應產生不穩定的一氧化硅(SiO)，局部爐溫高于2160oC時會使SiO氣化而隨煙氣一起排出，溫度低于1100oC時SiO迅速與氧反應轉化為SiO2，冷凝后形成微細球形顆粒，經收塵器收集過濾得到硅灰。硅灰中主要為玻璃態SiO2，含少量雜質；顆粒平均粒徑為0.15微米；不燃不爆，無毒無味，屬非危險品。
在以波特蘭水泥（硅酸鹽水泥）為膠凝材料的混凝土、砂漿、灌漿料等應用領域，“硅灰”是專用的標準名稱，與英文名稱“silica fume”對應。硅灰也常常被稱作“硅粉”、“微硅粉”等，這些名稱在其它工業領域有不同含義，較容易混淆，特別是容易與石英粉、硅灰石粉混淆。
